本设备应用于低压辉光等离子体技术中等离子体发生器供电。在低压辉光等离子体技术中,通过提供能量激发真空中的气体,会产生高能量的离子和电子,以及其他活性粒子,并形成等离子体,比较典型的应用为:
微喷砂处理:通过离子冲击剥蚀表面
化学反应:离子化气体与表面发生化学反应
紫外线辐射:紫外线辐射分解了长链碳化合物
广泛应用于真空腔壁表面清洗,材料表面改性等领域,例如鞋材行业的粘接,电子行业的柔性电路板制造粘接。