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射频放电电源


产品概述

射频等离子体电源采用全固态设计,保证了电源可以长寿命的工作,针对等离子体放电前后的等效电参数变化,电源内部自动匹配,配合可靠的放大器设计,使得等离子体达到最佳放电效果,同时该产品具有强大快速的保护能力,为整机的安全性提供了可靠地保证。另外整机采用先进的可编程逻辑控制器作为控制系统,稳定高效易操作。

应用范围

广泛应用于清洗、刻蚀、改性、聚合、镀膜等领域

 

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