电晕等离子体电源针对电晕放电的负载而设计,一般电晕放电的负载在放电时一般维持在直流高电压、低电流的状态,电源产生的高电压加在反应器电极上,在反应器电极之间产生强电场。在强电场作用下,部分气体分子电离,电离出的电子在强电场的加速下获得能量,成为高能电子(1~5eV)。高能电子则可以激活、裂解、电离其它气体分子,产生OH、O、HO2等多种活性粒子和自由基。
广泛应用于静电除尘、消毒灭菌、材料处理、表面改性等领域,例如低温等离子体空气净化器。