○ 40kHz纯正弦波输出
○ 宽交流输出电压范围
○ 自动抑弧功能
○ 人性化操作界面
○ 多模块并联组合运行
○ 完善的保护功能,系统可靠性高
广泛应用于等离子刻蚀及清洁系统,镀膜行业中的等离子体磁控溅射镀膜等行业。