○全固态射频
○ 高输出功率
○ 快速匹配
○ 射频频率宽(13.56MHz,40.68MHz,67.8MHz,80.36MHz)
○ 标准通信功能 (RS232,RS485)
○ 保护功能全面快速(过压、过流、过温、反射保护)
○ 系列化,标准化
射频等离子体电源采用全固态设计,保证了电源可以长寿命的工作,针对等离子体放电前后的等效电参数变化,电源内部自动匹配,配合可靠的放大器设计,使得等离子体达到最佳放电效果,同时该产品具有强大快速的保护能力,为整机的安全性提供了可靠的保证。另外整机采用先进的可编程逻辑控制器作为控制系统,稳定高效易操作。
广泛应用于清洗,刻蚀,改性,聚合,镀膜等领域。